产生臭氧的方法主要有紫外照射法、电解法、放射化学法和介质阻挡放电法。
利用紫外线照射干燥的氧气,使一部分氧分子被激活离解成氧原子,进而形成臭氧。紫外照射法产生臭氧的缺点是能耗高、臭氧浓度低,因此紫外照射法用于大量生产臭氧是不现实的。但是由于该方法重复性好,对温度不敏感,且易通过灯功率的线性控制改变臭氧的产量。所以,对各种少量低浓度要求的试验、空气消毒、灭菌、除臭等还是适合的。
利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧。近年来,人们对这种方法进行了大量研究,电解法制臭氧技术有了很大的进步。目前,采用SPE(固态聚合物电解质)电极与金属氧化催化技术电解纯净水可以得到14%以上的高浓度臭氧。电解法产生臭氧具有浓度较高、成份纯净、水中溶解度高的优点。在医疗、食品加工与养殖业及家庭方面具有广泛应用前景,经过进一步改进,设法降低成本和电耗后,有可能与目前广泛使用的介质阻挡放电法相竞争。
(3)放射化学法
利用各种放射源核辐射离解氧分子生成臭氧。该方法因采用放射源其成本高、安全性差,只适用于某些特殊情况,不适合于工业大量生成。
(4)介质阻挡放电法(DBD: Dielectric Barrier Discharge)
采用干燥的含氧气体流过无声放电的放电间隙发生臭氧的一种方法。这种方法具有能耗相对较低、单机臭氧产量大,气源可用干燥空气、氧气或含氧浓度较高的富氧气体等优点,因此工业上合成臭氧大多采用此法。